測(cè)量各種機(jī)械零件素線形狀和物體截面輪廓形狀的精密設(shè)備
■ ET200A
■ ET200A-D
■ ET200A-3D
■ ET4000A
■ ET8000
■ 適合二維、三維物體表面粗糙度分析和階梯測(cè)量,可實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率和出色的穩(wěn)定性,并具有微測(cè)量力,支持軟樣品表面
■ 高精度、穩(wěn)定性和功能多樣,是 FPD 基板、晶圓和硬盤(pán)等精細(xì)形狀、臺(tái)階和粗糙度測(cè)量的理想選擇
■ 樣品尺寸高達(dá) 2200×2600mm 的大型工件可精確自動(dòng)測(cè)量
敬請(qǐng)期待